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質(zhì)量流量控制器-ZF-MFC-1C
  • 品牌: 合肥科晶
  • 型號: ZF-MFC-1C
  • 產(chǎn)地: 合肥科晶
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產(chǎn)品詳情

 

         ZF-MFC-1C是一款防腐型單路氣體質(zhì)子流量控制器,結構小巧,操作方便,可用于氣體流量的精確測量和控制,流量范圍0~100,200,300,500SCCM可選,可與本公司管式爐、CVD系統(tǒng)、熔煉鑄造爐、鍍膜設備等配套使用,直接數(shù)字設定流量,穩(wěn)定可靠,操作方便。


技術參數(shù)


產(chǎn)品名稱

質(zhì)量流量控制器-ZF-MFC-1C

產(chǎn)品特點

防腐型單路氣體質(zhì)子流量控制器,結構小巧。

DC15V電壓驅(qū)動。

流量數(shù)顯設定顯示,穩(wěn)定可靠,操作方便。

流量范圍:0~100,200,300,500 SCCM可選。

配備RS485計算機接口,同時可輸出4~20mA信號,用于計算機與遠程儀表的連接控制。

標配N2氣標定。

工作電源

AC 220V,50/60Hz,7.5W

配備 AC 220VDC15V電源適配器。

流量范圍

0~100,200,300,500 SCCM四種規(guī)格可選,特殊規(guī)格可定制

材質(zhì)

316不銹鋼閥體,耐腐蝕

準確度

±2%FS

控制精度

±1%FS(恒流)

線性

±2%FS

工作壓力差范圍

0.1~0.5MPa

工作壓力

0.5MPa

設定流量方式

鍵入式

進出口閥門

Φ6.35mm 卡套式接頭


工作環(huán)境溫度

-10~50

產(chǎn)品尺寸

168 L×30 W×132H mm

產(chǎn)品重量

0.92Kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護。

使用注意事項

ZF-MFC-1C可用于腐蝕性氣體的流量測量與控制,如NH3等。

出廠時采用氮氣(N2)標定,如通入其他氣體時,需要對照說明書中不同氣體流量轉換系數(shù)進行流量換算。

注意工作差,使用時進出氣兩端工作壓力差在0.15~0.5MPa范圍內(nèi)。


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