ZF-MFC-1C是一款防腐型單路氣體質(zhì)子流量控制器,結構小巧,操作方便,可用于氣體流量的精確測量和控制,流量范圍0~100,200,300,500SCCM可選,可與本公司管式爐、CVD系統(tǒng)、熔煉鑄造爐、鍍膜設備等配套使用,直接數(shù)字設定流量,穩(wěn)定可靠,操作方便。
技術參數(shù)
產(chǎn)品名稱 |
質(zhì)量流量控制器-ZF-MFC-1C |
產(chǎn)品特點 |
防腐型單路氣體質(zhì)子流量控制器,結構小巧。 DC15V電壓驅(qū)動。 流量數(shù)顯設定顯示,穩(wěn)定可靠,操作方便。 流量范圍:0~100,200,300,500 SCCM可選。 配備RS485計算機接口,同時可輸出4~20mA信號,用于計算機與遠程儀表的連接控制。 標配N2氣標定。 |
工作電源 |
AC 220V,50/60Hz,7.5W 配備 AC 220V轉DC15V電源適配器。 |
流量范圍 |
0~100,200,300,500 SCCM四種規(guī)格可選,特殊規(guī)格可定制 |
材質(zhì) |
316不銹鋼閥體,耐腐蝕 |
準確度 |
±2%FS |
控制精度 |
±1%FS(恒流) |
線性 |
±2%FS |
工作壓力差范圍 |
0.1~0.5MPa |
工作壓力 |
0.5MPa |
設定流量方式 |
鍵入式 |
進出口閥門 |
Φ6.35mm 卡套式接頭
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工作環(huán)境溫度 |
-10~50℃ |
產(chǎn)品尺寸 |
168 L×30 W×132H mm |
產(chǎn)品重量 |
0.92Kg |
質(zhì)保期 |
一年質(zhì)保期,終身維護。 |
使用注意事項 |
ZF-MFC-1C可用于腐蝕性氣體的流量測量與控制,如NH3等。 出廠時采用氮氣(N2)標定,如通入其他氣體時,需要對照說明書中不同氣體流量轉換系數(shù)進行流量換算。 注意工作差,使用時進出氣兩端工作壓力差在0.15~0.5MPa范圍內(nèi)。
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