GPH-DHDO含有兩部分氣體凈化器（一個用于除氧另一個用于除水），兩個凈化器用1/4”不銹鋼管和兩個針閥連接在一起，可以與任何科晶混氣系統(tǒng)連接。在室溫下，它將氣態(tài)雜質(zhì)降低到ppm級。它可將99.9%純度的惰性氣體如（氮、氦、氖、氬、氪、和氙）中的H2O、O2、CO2、H2和CO以及非甲烷的烴類化合物降至< 0.1 ppm，以及可將H2中的H2O、O2、CO2降至< 0.1 ppm。此外此設(shè)備帶有加熱功能，可以加熱到300℃對除氧除水單位進行再生，方便長期循環(huán)使用。
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)品名稱 |
惰性氣體凈化系統(tǒng)-GPH-DHDO |
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產(chǎn)品特點 |
輸入：輸入氣體純度要求：<1000 ppm（99.9%）。 輸出：清除雜質(zhì)至<0.1ppm （02≤0.1 ppm H20,-76℃露點溫度）。 304L不銹鋼罐（<10Ra EP）。 再生操作簡單方便。 內(nèi)置數(shù)字溫度控制器和氣體流量計控制。 再生后凈化多達80L惰性氣體。 設(shè)備需在270℃下再生（需使用5N純度的95%N2+5%H2氣體） |
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電源 |
220V 50Hz 功率：500W（加熱過程中） |
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較大壓力輸出 |
0.5MPa |
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工作溫度 |
室溫-300℃ |
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氣體泄漏率 |
<2×10-9 atm cc/sec He |
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溫度控制器 |
控溫精度±1℃ |
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較大氣流 |
400ml/min |
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外形尺寸 |
445L×400W×190H mm |
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使用提示 |
您可以購買精密質(zhì)子流量計，輸入氣體更加準(zhǔn)確（圖一）。 此系統(tǒng)可以和本公司所有的管式爐和CVD系統(tǒng)相連接（圖二）
圖一 圖二 |
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質(zhì)量認證 |
CE認證 |
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質(zhì)保期 |
一年質(zhì)保期，終生技術(shù)支持。 特別提示：1、耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)。 |
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免責(zé)聲明 |
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