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1200℃立式/水平式十溫區(qū)管式爐(可用于梯度材料燒結(jié)及高通量CVD實(shí)驗(yàn))-OTF-1200X-10-VT
  • 品牌: 合肥科晶
  • 型號: OTF-1200X-10-VT
  • 產(chǎn)地: 合肥科晶
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產(chǎn)品詳情


         OTF-1200X-10-VT是一款十溫區(qū)立式/水平式兩用型開啟式管式爐,配有Φ100*2000mm石英管和快捷開啟式密封法蘭,爐體溫度可達(dá)1200℃。加熱元件為電阻絲,每個(gè)溫區(qū)分別由獨(dú)立的溫控系統(tǒng)控制,可在爐管內(nèi)形成多種溫度梯度,同時(shí)可手動(dòng)變更爐體模式為立式爐,實(shí)現(xiàn)樣品在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下的吊燒和淬火,可滿足各種實(shí)驗(yàn)要求。如制備梯度功能材料,高通量CVD法制備材料、研究相變等等。


技術(shù)參數(shù)


名稱

1200℃立式/水平式十溫區(qū)管式爐(可用于梯度材料燒結(jié)及高通量CVD實(shí)驗(yàn))-OTF-1200X-10-VT

爐體結(jié)構(gòu)

爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),保證殼體表面溫度小于60℃

用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料,并且表面涂有高溫氧化鋁涂層(可提高加熱效率和延長使用壽命)

加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,可延長使用壽命)

開啟式的爐體設(shè)計(jì),使更換爐管更加方便

可手動(dòng)變更爐體模式為立式爐,用于樣品的吊燒和淬火

 

電壓&功率

電壓:AC 220V,50/60Hz。

功率:12KW

工作溫度

工作溫度1200℃,連續(xù)工作溫度1200

加熱速率

10/min

石英管&管堵所放位置

爐管尺寸:OD:100mm×ID:95mm×L:2000mm。

儀器中配有氧化鋁管堵,使用時(shí)必須放在石英管兩端。

 

密封法蘭

設(shè)備中配有一條快捷開啟式密封法蘭(爐體兩端帶有支架,用于支撐法蘭)

左端法蘭上安裝不銹鋼截止閥(用于通入氣體)和機(jī)械真空泵。

右端法蘭上安裝不銹鋼截止閥以及預(yù)留的KF25接頭(用于連接真空泵)

 

真空度

10E-3torr(采用機(jī)械泵)

10E-5torr(采用分子泵)

加熱區(qū)

10個(gè)溫區(qū),每個(gè)溫區(qū)長度為120mm。

總溫區(qū)長度:1570mm(含絕熱層)。

注意:可通過在溫區(qū)之間添加絕熱環(huán)來調(diào)節(jié)溫度梯度。

溫控系統(tǒng)

控制柜與爐體分開,采用觸摸屏來操作來控制十個(gè)溫區(qū),每個(gè)溫區(qū)有獨(dú)立的控制通道。

每個(gè)控制通道可設(shè)置30段升降溫程序。

設(shè)有超溫和斷偶保護(hù)。

控溫精度為:+/- 1 oC。

熱電偶:采用K型鎧裝熱電偶。

控制面板上安裝有RS485接口,可連接電腦將數(shù)據(jù)導(dǎo)出。


可選

客戶可選購多通道質(zhì)量流量計(jì)供氣系統(tǒng),用于和管式爐配合做CVD實(shí)驗(yàn)。


可選購壓力控制系統(tǒng),來確保爐管內(nèi)氣壓恒定。


產(chǎn)品尺寸

1980mm×1300mm×2500mm


產(chǎn)品重量

200kg

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不含爐管、密封圈和加熱元件盒密封圈損耗件)

質(zhì)量認(rèn)證

所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認(rèn)證若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CSA認(rèn)證。


使用注意事項(xiàng)

爐管內(nèi)氣壓不高于0.02MPa。

由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。

當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)。

進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

石英管的長時(shí)間使用溫度<1100℃。

對于樣品加熱是實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需要時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。

免責(zé)聲明

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