OTF-1100X-XX-III是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐，采用8.5英寸或11英寸石英爐管及不銹鋼密封法蘭（安裝有不銹鋼截止閥和機(jī)械壓力表）。爐體設(shè)計(jì)為電動(dòng)開啟式。三個(gè)溫區(qū)獨(dú)立控制，可設(shè)置30段升降溫曲線，帶有超溫和短偶保護(hù)，控溫精度為+/- 0.5 oC。此款設(shè)備廣泛應(yīng)用于各種材料在真空或氣氛保護(hù)環(huán)境下的熱處理。
技術(shù)參數(shù)
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名稱 |
1100℃三溫區(qū)電動(dòng)開啟式管式爐（管徑8.5、11）OTF-1100X-XX-III |
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設(shè)備型號(hào) |
OTF-1100X-8.5-III |
OTF-1100X-11-III |
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高純石英管尺寸 |
216 OD×206 ID×1800mm L |
279 OD×269 ID×1800mm L |
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加熱區(qū) |
1000mm |
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電源 |
AC380,50Hz 三相電 功率：20KW |
AC380,50Hz 三相電 功率：20KW |
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爐體結(jié)構(gòu) |
采用雙層殼體結(jié)構(gòu)，并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)，使表面溫度低于70℃ 設(shè)備中配有2個(gè)氧化鋁管堵，設(shè)備使用時(shí)必須把管堵塞入到爐管兩端（保證恒溫區(qū)和密封圈的密封性） 高純氧化鋁纖維作為爐膛材料（表面涂有高溫氧化鋁涂層，可提高加熱效率延長爐膛使用壽命） 該爐可作為退火或擴(kuò)散爐，可用于8”晶片放在對(duì)應(yīng)石英舟中（圖三） 電動(dòng)開啟式設(shè)計(jì)，使得用戶操作更加簡便（圖四）
圖一 圖二 圖三 圖四 |
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基本參數(shù) |
熱偶：K型熱偶 建議升溫速率：≤10℃/min 溫度：1000℃ （1100℃<1h） 電源：AC220，50HZ 功率：8KW |
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加熱元件 |
SiC棒（36根） |
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爐管 |
8.5英寸或11英寸高純石英爐管。 注意：石英管易碎，操作需謹(jǐn)慎。 為了獲得更高的工作溫度，可選用FeCrAl合金管，溫度可達(dá)1200℃
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密封法蘭 |
一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭（鉸鏈?zhǔn)剑?個(gè)硅膠密封圈，可是爐管內(nèi)真空度達(dá)到10∧-3torr（采用機(jī)械泵抽真空）。 左端法蘭：安裝有不銹鋼針閥，φ6.35的進(jìn)氣口。 右端法蘭：KF40真空泵接口φ6.35鎧裝接口（用于熱偶插入到爐管內(nèi)，測量爐管內(nèi)溫度和進(jìn)行溫度校準(zhǔn)）。
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溫控系統(tǒng) |
控溫精度：±0.5℃ |
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溫度校準(zhǔn)（可選）
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定期對(duì)管式爐進(jìn)行溫度校準(zhǔn)，可保持溫度的準(zhǔn)確性和均勻性。您可以在我公司選購一個(gè)簡單的校準(zhǔn)工具包，輔助您完成這項(xiàng)工作，完整的校準(zhǔn)套件包括 一個(gè)1200mm的K型鎧裝熱偶。 48”L（1/4”O(jiān)D）K型熱電偶校準(zhǔn)。 一Omega溫度校準(zhǔn)器。 你可以考慮分子泵，真空度可達(dá)10-5Torr。
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外形尺寸 |
2210（L）×770(W)×1190(H) mm
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凈重 |
約500Kg |
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真空系統(tǒng) |
多種真空系統(tǒng)可選 可選購一個(gè)冷真空阱，以避免真空泵造成污染
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可選 |
可與手套箱系統(tǒng)聯(lián)用，實(shí)現(xiàn)氧敏感性材料的燒結(jié)制備
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使用注意事項(xiàng) |
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，為了確保安全，建議使用壓力低于0.02MPa，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全。 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng)。 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。 石英管的長時(shí)間使用溫度＜1100℃。 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐 管破裂，法蘭飛出等）。 |
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質(zhì)量認(rèn)證 |
所有電器元件（>24V）都通過UL/MET/CSA/ CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
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質(zhì)保 |
一年保修，終身技術(shù)支持。
特別提示： 1.耗材部分如加熱元件，石英管，樣品坩堝等不包含在內(nèi)。 2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi) |
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免責(zé)聲明 |
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