GSL-1100X-III-8.5T是一款通過CE認證并采用UL標準制造的一款三溫區(qū)管式爐。該管式爐配備有8.5英寸的石英管和水冷法蘭,一塊觸摸屏控制溫度和真空度,操作簡潔方便。工作溫度1150℃,真空度可以達到10-5 torr。該管式爐是一款理想的做退火,擴散和CVD等的實驗設(shè)備。
技術(shù)參數(shù)
名稱
GSL-1100X-III-8.5T
爐體結(jié)構(gòu)
采用雙層殼體風冷系統(tǒng),工作時使得殼體表面溫度<60℃。
采用高純度氧化鋁作為爐膛材料,保溫性能極佳,較大限度減少熱量損失。
通過觸摸屏控制工作溫度,真空度,水冷機組。
在爐子底部安裝有水冷和高真空機組。
采用鉸鏈式水冷法蘭,操作方便簡潔。
石英管尺寸
采用高純度石英管。
尺寸:216 O.D×206 I.D×1300 L mm(8.5” O.D×8.1” I.D×51” L)。
警告:石英管是易碎品,請妥善保管。人為損壞不在保修范圍內(nèi)。
標準兩塊氧化鋁纖維管堵,用于阻擋管內(nèi)的熱輻射(加熱爐在工作時必須放入管堵)。
可選石英管堵,提高潔凈度及真空度。
加熱區(qū)
總加熱區(qū)長度:900mm(36”)。
三個加熱區(qū):330mm+330mm+330mm(12” 每個加熱區(qū))。
恒溫區(qū)長度:750mm(三個溫區(qū)可設(shè)置相同的溫度,誤差為±2℃)。
注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結(jié)果可能會有偏差,此參數(shù)經(jīng)供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系。
工作溫度
工作溫度:1150℃。
連續(xù)工作:200~1100℃
加熱/冷卻速率:10℃/min。
溫度分布圖
溫度控制
配備一款觸摸屏控制溫度。
三個加熱區(qū)分別設(shè)置30段升降溫程序。
控溫精度:±1℃。
每個溫區(qū)都配備一個K型Omega原裝熱電偶。
真空泵系統(tǒng)
在爐子下配備了一個數(shù)字分子泵系統(tǒng)。
真空度可達10-5torr。
真空泵由觸摸屏控制。
真空密封&法蘭
配備一對水冷密封法蘭(鉸鏈法蘭)。
左法蘭配備:真空計和觸摸屏控制的電磁閥(用于控制顱內(nèi)氣氛環(huán)境)。
右法蘭配備:KF40真空接口,用于連接真空泵接口上電磁閥。
法蘭外端配備一個外徑1/4”的熱電偶插口,用于方便進行溫度校準。
爐子底部配備有一個16L/min水冷機,用于水冷法蘭的供水。
可選
可以另配混氣系統(tǒng)用于CVD實驗。
額定電壓
單相 AC 220V,50/60 Hz
包括AWG 8#電源線
功率
12KW(需50A空氣開關(guān))
產(chǎn)品尺寸
1700 L×750 W×1800 H mm
凈重
250Kg
質(zhì)保期
一年質(zhì)保期,終生維護(不包含爐管,加熱元件和密封圈)
質(zhì)量認證
CE認證。
所有電器元件(輸入電源大于24V)都通過了UL/MET/CSA
使用注意事項
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。
由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司購買減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa使用時會更加精確安全。
當爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)。爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)。
進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。
石英管的長時間使用溫度<1100℃。
對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱的實驗,則需時刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。
免責聲明
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