OTF-1200X-S-FBUS是一款帶超聲霧化模塊的立式流化床管式爐系統(tǒng)，可適用于粉末材料的CVD工藝中（FBCVD）。此系統(tǒng)由顆粒懸浮立式管式爐和超聲霧化模塊組成。爐管內(nèi)部嵌有一多孔石英板，石英板的孔徑為5-15um.粉末可放在多孔石英板上，氣體可從爐管下端通入，通過(guò)多孔石英板使樣品顆粒懸浮在加熱區(qū)域，進(jìn)行沉積實(shí)驗(yàn)。對(duì)于核殼結(jié)構(gòu)的納米顆粒制備是一款理想的實(shí)驗(yàn)儀器。
技術(shù)參數(shù)
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產(chǎn)品名稱(chēng) |
帶超聲霧化的流化床CVD管式爐系統(tǒng)-OTF-1200X-S-FBUS |
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基本參數(shù) |
電壓：AC 220V 單相，50/60Hz；功率：1.2KW 工作溫度：1100℃；連續(xù)工作溫度：1000℃ 升溫速率：≤20℃/min；加熱區(qū)：200mm（單溫區(qū)） 恒溫區(qū)：100mm（±2℃） 注：由于測(cè)量手段及外部環(huán)境的影響，測(cè)量結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷(xiāo)售人員聯(lián)系。 |
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流化區(qū)域
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配有一個(gè)2.4MHz超聲霧化儀，可將液體霧化成亞微米級(jí)液滴引入到加熱流花區(qū)域進(jìn)行熱解或粉末表面的CVD涂層包覆。 氣體以及亞微米級(jí)的霧化顆粒均勻分布在整個(gè)爐腔中。 固體顆粒被底部通入的向上氣體懸浮在加熱區(qū)內(nèi)。 可提供絕佳的熱傳導(dǎo)及顆粒表面的均勻包覆。 爐體設(shè)計(jì)為開(kāi)啟式，當(dāng)實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，可將爐體打開(kāi)，拿出石英管，去除反應(yīng)后的顆粒。 注意：在通入氣體懸浮起樣品顆粒時(shí)，也許會(huì)因?yàn)闅怏w流量過(guò)大會(huì)使顆粒穿過(guò)加熱區(qū)，所以實(shí)驗(yàn)時(shí)要根據(jù)顆粒的大小尺寸來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量。 |
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超聲霧化儀
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AC 220V，2.4MHz高頻超聲波霧化器，可將溶液霧化為亞微米級(jí)顆粒。 液體罐上涂有氟化物，并采用氟膠密封圈密封。 可設(shè)置超聲儀功率0-100%，每次按5%增加。 外部配備有氟化物光學(xué)傳感器（耐腐蝕）以及閥門(mén)來(lái)確保內(nèi)部液面處于合適高度，避免液體量過(guò)少。 316不銹鋼三通，帶有1/4英寸轉(zhuǎn)換接頭，用于通入載流氣體。 |
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多孔石英板 |
孔徑：5~15μm 尺寸：22mm O.D×4mm厚
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爐體結(jié)構(gòu) |
雙層殼體結(jié)構(gòu)并帶有風(fēng)冷系統(tǒng)。 爐體設(shè)計(jì)為開(kāi)啟式，以方便放樣和取樣。 采用高純氧化鋁纖維作為爐膛材料，并且表面涂有美國(guó)進(jìn)口1760度高溫氧化鋁涂層，可延長(zhǎng)儀器使用壽面和提高加熱效率 |
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爐管尺寸和材料
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包含一異型石英管 爐管尺寸：兩端：25mm O.D,22mm I.D 中間：50mm O.D,44mm I.D 中間區(qū)域的大尺寸確保了物料高的氣動(dòng)性。 |
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密封法蘭
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底部法蘭：常規(guī)設(shè)計(jì)1”不銹鋼真空法蘭，配備1/4”進(jìn)氣口用于懸浮氣體進(jìn)入。 頂部法蘭：特殊設(shè)計(jì)的1”法蘭，可實(shí)現(xiàn)前驅(qū)動(dòng)氣體或你流氣體的進(jìn)氣和出氣。 |
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可選配件 |
多路氣路系統(tǒng)可用于氣體控制。
氧分析儀：氧分析儀可安裝在系統(tǒng)中用于檢測(cè)氣體中的氧含量從而防止或減少CVD過(guò)程中的氧化現(xiàn)象。
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溫控系統(tǒng) |
可設(shè)置30段升溫，保溫和降溫程序。 采用PID方式來(lái)調(diào)節(jié)溫度，并帶有過(guò)熱和斷偶保護(hù)。 控溫精度：±1℃ |
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加熱元件 |
摻鉬鐵鉻鋁合金 |
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尺寸 |
340mm×300mm×1000mm（W×L×H） |
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質(zhì)量 |
約20kg |
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質(zhì)保期 |
一年質(zhì)保期，終生維護(hù)（不包含爐管、密封圈及加熱元件等耗材） |
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質(zhì)量認(rèn)證 |
所有元器件（>24V）都通過(guò)UL/MET/CSA/CE認(rèn)證，若客戶出認(rèn)證費(fèi)用本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CSA認(rèn)證
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使用注意事項(xiàng) |
爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高，所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí)，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購(gòu)減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa使用時(shí)會(huì)更加精確安全。 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí)，爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài)，爐管內(nèi)的氣壓和大氣壓相當(dāng)，保持在常壓狀態(tài)。 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM，以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊。 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃。 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn)，不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱，則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù)，若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa，必須立刻打開(kāi)泄氣閥，以防意外發(fā)生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |
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